Hochauflösende Mikroskopie und Oberflächenabbildung

Am Fraunhofer IST stehen eine Vielzahl von Mikroskopie-Verfahren zur Verfügung, die einen großen Bereich verschiedener Vergrößerungen abdecken: Das beginnt mit der einfachen Stereolupe, gefolgt von diversen optischen Mikroskopen mit hochwertiger digitaler Bildaufnahme, konfokaler Lasermikroskopie, die eine optische 3D-Abbildung und Vermessung erlaubt, taktile Profilometrie zur 2D- und 3D-Abbildung von Oberflächen, Rasterelektronenmikroskopie mit bis zu 100 000-facher Vergrößerung und schließlich der Rasterkraftmikroskopie (AFM), mit der höchste laterale und vertikale Auflösungen (< 1 nm) erreicht werden.