Plasmasimulation eines Sputterprozesses mit Doppelrohrtargets (links), Extraktion der Erosionsprofile auf den Targets (Mitte) und Simulation der Beschichtungsstromdichte am Substrat (rechts).
Unsere Kompetenzen und Anwendungsfelder im Bereich Simulation & Digital Services
Wir bieten Optimierung von Niederdruck-Beschichtungsprozessen, Plasma- und Strömungssimulation, Simulation des Staub- und Aerosoltransports, thermodynamische Simulation, Datenerfassung und modellgestützte Datenauswertung. Simulationen lassen sich anhand der Anlagentechnik am Fraunhofer IST validieren. Wir bieten Unterstützung im Bereich HPC- und Cloud-Computing, Simulationsstudien, Lehrgänge und Softwarelizenzen (DSMC- und PIC-MC-Verfahren).
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST