2- und 3-dimensionale optische Mikroskopie

Konfokale Lasermikroskopie: Analyse von Batteriepartikel.
© Fraunhofer IST
Konfokale Lasermikroskopie: Analyse von Batteriepartikel.

3-dimensionale Oberflächenabbildung lässt sich mit taktilen Methoden wie der Profilometrie oder Rasterkraftmikoskopie (AFM), aber auch berührungslos mittels konfokaler Lasermikroskopie durchführen.

Konfokale Lasermikroskopie 

Das konfokale Lasermikroskop CLM (englisch: confocal laser microscope) erlaubt neben 2-dimensionalen auch 3-dimensionale optische Abbildungen von Oberflächen. Das Bild wird erzeugt, indem die sehr scharf definierte Fokusebene vertikal durch das Objekt gefahren wird. Die laterale Auflösung liegt dabei im Bereich von 1 μm, die Höhenauflösung erreicht dagegen wenige Nanometer. Das Verfahren liefert innerhalb von wenigen Minuten quantitative Informationen unter anderem über Oberflächentopographie, Rauigkeit, Stufenhöhen, Steigungswinkel oder Partikelgrößen.

Schnelle quantitative 3D-Information von Oberflächen

Im Vergleich zu taktilen profilometrischen Verfahren ist die konfokale Lasermikroskopie deutlich schneller und es können auch weiche oder instabile Oberflächen, wie z. B. Polymere oder Pulver abgebildet werden. Bis zu einem gewissen Grad kann auch durch transparente Deckschichten hindurch gemessen und auf diese Weise die Schichtdicke bestimmt werden. Neben der reinen Abbildung gibt es eine Vielzahl von Softwaretools, um die maximale quantitativen Information aus den 2- oder 3-dimensionalen  Bildern herauszuholen.

 

Schichtabplatzungen auf einer Stahloberfläche

Konfokale Lasermikroskopie in der Praxis: Schichtabplatzungen auf einer Stahloberfläche.
© Fraunhofer IST
Konfokale Lasermikroskopie in der Praxis.

Partielle Delamination von Schichten auf einer Stahloberfläche lässt sich mittels konfokalem Lasermikroskop sicher detektieren und dokumentieren.

Übersicht und Detailbild eines Scratchs in einer DLC-Schicht auf einem zylindrischen Stahlbolzen

Detailbild eines Scratchs in einer DLC-Schicht auf einem zylindrischen Stahlbolzen.
© Fraunhofer IST, Kirsten Schiffmann
Scratchspur in Hartstoffschicht.
Beim Scratchtest werden die steigende Last, die Eindringtiefe, der Reibungskoeffizient und die beim Scratch erzeugte akustische Emission aufgezeichnet. Die Auswertung geschieht durch 2- oder 3-dimensional optische Abbildung des Scratches.
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CLM-Aufnahme eines Scratches in einer DLC-Schicht.

Die 3-dimensionale Darstellung nach dem Scratchtest erlaubt eine sichere Detektion von Abplatzungen und auch die Lokalisation in welche Tiefe, d.h. an welcher Grenzfläche, das Material versagt.

Wabenförmig strukturierte Oberfläche zur Minimierung der Kontaktfläche nach einem tribologischem Versuch

Wabenförmig strukturierte Oberfläche zur Minimierung der Kontaktfläche nach einem tribologischem Versuch
© Fraunhofer IST

Die Minimierung der Kontaktfläche kann zu einer Reduktion des Reibungskoeffizientens führen. Mit dem konfokalen Mikroskop kann leicht kontrolliert werden, ob die 3-dimensionalen Mikrostrukturen der tribologischen Belastung standhalten.

CLM-Aufnahme von Partikeln auf einer Oberfläche

Aufnahme mit dem konfokalen Lasermikroskop (CLM) von Partikeln auf einer Oberfläche.
© Fraunhofer IST

Die 3D-Partikelaufnahme erlaubt auch die statistische Auswertung von Partikeldurchmessern, Partikelformen, Partikeldicke.

CLM-Aufnahme von Vickers-Eindrücken in einer Oberfläche

Aufnahme mit dem konfokalen Lasermikroskop (CLM) von Vickers-Eindrücken in einer Oberfläche
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Das Beispiel der Vickers-Eindrücke zeigt, dass eine quantitative Bestimmung von Lochtiefen und Öffnungswinkeln möglich ist.

Höhenprofil eines Punktgitters

Auswertung von Linien- Querschnittsprofilen eines Punktgitters.
© Fraunhofer IST

Auswertung von Linien- Querschnittsprofilen eines Punktgitters.