Optische Systeme und Anwendungen für die Oberflächentechnik

Demonstrator mit auf einem Durchmesser von 200 mm und einer optischen Dichte von 6. Oben: Reflexion, unten: Transmission.
© Fraunhofer IST, Jan Benz
Demonstrator mit auf einem Durchmesser von 200 mm und einer optischen Dichte von 6. Oben: Reflexion, unten: Transmission.

Für die unterschiedlichsten Anwendungen von optischen Komponenten leisten Dünnschichttechnologien einen wichtigen Beitrag, um innovative Lösungen zu entwickeln. Über alle Branchen hinweg werden optische Komponenten für automatisierte Produktionsprozesse ebenso benötigt wie für die Anwendungen selbst. Notwendig sind einzelne bis hin zu mehreren Hundert gegenüber Umwelteinflüssen stabile Schichten, die jeweils auf wenige Atomlagen genau abgeschieden werden müssen. Am Fraunhofer IST entwickeln wir solche präzisionsoptischen Systeme und die zugehörigen Produktionsprozesse. 

Mit der Beschichtungsplattform EOSS® (Enhanced Optical Sputtering System) steht eine produktionstaugliche Anlage für hochpräzise Interferenzfilter zur Verfügung und in Kombination mit der Prozesskontroll- und Steuerungssoftware MOCCA (Modular Optical Coating Control Application) können auch komplexe Filter mit vielen Hundert Schichten realisiert werden, wie wir sie anhand der Anforderungen unserer Kunden entwerfen. Zur Optimierung der Prozesse und Anlagen erstellen wir passgenaue Simulationen und virtuelle Beschichtungsläufe. Diese verknüpfen wir mit optischer Messtechnik zur Prozesskontrolle und Qualitätssicherung. 

»Mit der zunehmenden Digitalisierung gewinnen optische Anwendungen immer mehr an Bedeutung. Unseren Kunden bieten wir anwendungsnahe Lösungen für optische Systeme auf dem Gebiet der Schicht- und Oberflächentechnik.«

Dr. Michael Vergöhl , Abteilungsleiter

Unsere Kompetenzen und Anwendungsfelder im Bereich Produktionstechnik, Messtechnik, Sensorik und Weltraum

Im Anwendungsfeld für optische Systeme entwickeln wir am Fraunhofer IST mit Hilfe von Simulation Produktionstechnik für die Herstellung anspruchsvoller optischer und optoelektronischer Schichtsysteme. Optische Messsysteme ermöglichen sowohl die Kontrolle der Abscheidung optischer Schichten als auch die Ex-situ-Vermessung von Oberflächen. Zur Herstellung optischer Filter setzen wir eigene Beschichtungstechnik ein.

 

Produktionstechnik: EOSS®-Technologie

 

Optisch-elektrische Systeme

 

Entwicklung und Produktion optischer Filter als Kleinserien

 

Spektrometer zur Messung optischer Eigenschaften

 

Software für Simulation, Steuerung und Messung

 

Konforme optische Beschichtungen für komplexe Substrate

 

Magnetische Positions- und Längenmessung

 

Diamantschichten für optische Anwendungen

Wir bieten Ihnen Lösungen für Ihre Anwendungen

 

Branchenlösungen

Optik

 

Technologie

Physikalische Gasphasenabscheidung

 

Technologie

Chemische Gasphasenabscheidung