Dünnschichttechnologie für die Optikbranche

Mappingsystem zur Messung der Ellipsometrie, Reflexion, Transmission, Streulicht und Raman-Spektroskopie auf 60 x 60 cm2.
© Fraunhofer IST
Mappingsystem zur Messung der Ellipsometrie, Reflexion, Transmission, Streulicht und Raman-Spektroskopie.

Wachsende Anforderungen an optische Funktionsschichten

Optische Technologien gehören zu den wichtigsten Zukunftsbranchen. Für industrielle Anwendungen müssen Beschichtungen heute höchste Präzision, Stabilität und Skalierbarkeit bieten. Bereits minimale Abweichungen in Schichtdicke oder Materialzusammensetzung beeinflussen die optische Leistung. Gleichzeitig müssen die Schichten vom UV- bis zum IR-Bereich funktionieren, Defekte vermeiden und sich nahtlos in bestehende optische oder CMOS-basierte Systeme integrieren lassen.

Hochpräzise Beschichtungen und zuverlässige Prozessführung

Wir entwickeln maßgeschneiderte Lösungen für innovative optische Beschichtungen und deren Produktionsprozesse für industrielle Anwendungen. Für das fortschrittliche Verfahren des Magnetronsputterns mittels EOSS®-Technologie stehen am Fraunhofer IST produktionstaugliche Anlagen zur Verfügung. Damit entstehen hochpräzise Schichten mit optimierten mechanischen, optischen und funktionalen Eigenschaften. Dies ermöglicht z.B. höchst präzise Laserschutzfilter, Antireflex-Beschichtungen für planare oder geformte optische Komponenten oder auch Filter für spezifische Wellenlängenbereiche. Zur Optimierung der Prozesse und Anlagen werden passgenaue Simulationen und virtuelle Beschichtungsläufe erstellt. Diese verknüpfen wir mit optischer Messtechnik zur Prozesskontrolle und Qualitätssicherung: der In-situ-Steuerung mit dem Monitoringsystem MOCCA zur Herstellung von Präzisionsoptik, mit einem Ex-situ-Mappingsystem für Ellipsometrie, Photometrie und Raman-Spektroskopie oder der Partikel- und Defektanalyse mittels FIB-REM und konfokaler Mikroskopie. Neue Messsysteme werden mit Tools wie Zemax, TracePro oder COMSOL konzipiert und aufgebaut.

Vom Konzept bis zur Anwendung

Mit unserem integrierten Ansatz aus Simulation, Beschichtungstechnik und Qualitätssicherung entwickeln wir optische Schichten und Systeme, die höchste Leistungsanforderungen erfüllen und sich zuverlässig in Ihre Produktion integrieren lassen. Sprechen Sie uns an – wir finden die passende Lösung für Ihre Anwendung. 

Unsere Schwerpunkte und Kompetenzen

 

Kompetenz

Optische Systeme und Anwendungen

Ausgewählte Referenzprojekte

 

Referenzprojekt

Kompakte Hyperspektralfilter

Der Schlüssel zu smarter Landwirtschaft

 

Referenzprojekt

Optische Beschichtungsanlage EOSS®

Aufskalierung und Industrietransfer

 

Referenzprojekt

Bandpassfilter für Mars-Rover Perseverance

 

Referenzprojekt

Magnetronsputtern

zur Abscheidung optischer Hochpräzisionsschichten auf 3D-Komponenten

 

Referenzprojekt

Optische Filter

auf Linsen für kompakte optische Systeme

 

Referenzprojekt MOCCA

Anlagensteuerung und Prozesskontrolle

auf Industrieanlagen

 

Referenzprojekt

Ultraharte optische Diamantschichten