Hochproduktive optische Beschichtungen für die Zukunft

Präzision in Schichten

Nahaufnahme einer rotierenden, beschichteten Linse in einer EOSS-Anlage, eingefasst in eine dunkle technische Metallstruktur; die Bewegung der Linse ist durch eine weiche Unschärfe sichtbar, während reflektierende Oberflächen in der Mitte Lichtbrechungen und Farbnuancen zeigen.
© Fraunhofer IST

Präzisionsoptik ist ein Schlüssel moderner Technologien: Von digitaler Kommunikation über autonome Systeme bis hin zur Medizintechnik wird die Leistungsfähigkeit optischer Anwendungen maßgeblich durch hochentwickelte Beschichtungen bestimmt. Gleichzeitig steigen jedoch die Anforderungen an Produktion und Prozesskontrolle. Moderne Beschichtungsanlagen und datengetriebene Prozesse ermöglichen es, diese komplexen Schichtsysteme mit hoher Präzision, Stabilität und Produktivität zuverlässig herzustellen.

Megatrends treiben den Bedarf an Präzisionsoptik

Digitale Transformation, vernetzte Mobilität und Medizintechnik treiben den weltweiten Photonikmarkt dynamisch voran. Kamerasysteme in Smartphones und Fahrzeugen, LiDAR-Sensorik und maschinelles Sehen, hyperspektrale Erdbeobachtung, Halbleiterfertigung sowie AR/VR erzeugen einen rasant wachsenden Bedarf an präzisionsoptischen Dünnschichten. Diese Anwendungen verlangen extrem enge Toleranzen, geringe Verluste und hohe Langzeitstabilität – häufig auf dünnen Substraten und im Wafer-Maßstab. Gleichzeitig steigen die Anforderungen an Produktivität, Automatisierung, Reinraumintegration und datengetriebene Prozesskontrolle.

Der Markt wächst entsprechend dynamisch: Die globale Photonikindustrie erreichte 2022 ein Volumen von rund 865 Mrd. USD bei einem jährlichen Wachstum von etwa sechs bis sieben Prozent. In Deutschland erwirtschaftete die Branche im Jahr 2024 rund 50 Mrd. EUR1. Besonders stark entwickelt sich der Bereich Komponenten und Materialien – und damit auch optische Filter und Beschichtungen. Für diese Systeme bedeutet das: steigende Stückzahlen, komplexere Designs mit hunderten bis tausenden Schichten (10 bis 100 µm Gesamtdicke) sowie strengere Spezifikationen hinsichtlich Uniformität bis hin zu 99,8 Prozent und reproduzierbarer Gradientenprofile. Neue Gerätegenerationen – von autonomen Sensoren über medizinische Diagnostik bis zu Kleinsatelliten – verlangen zudem kompaktere, leichtere und energieeffizientere Lösungen.

 

 

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1 Spectaris, Trend Report Photonics 2025/2026

 

Wachstumsmarkt Präzisionsoptik

Megatrends wie autonome Mobilität, Digitalisierung und Raumfahrt sorgen für eine wachsende Nachfrage nach optischen Hochleistungssystemen und innovativen Fertigungstechnologien

Präzision trifft industrielle Robustheit

Um diesen Bedarf nachhaltig zu bedienen, braucht es Produktionssysteme, die höchste Präzision mit industrieller Robustheit verbinden. Gefordert sind stabile Sputterprozesse ohne Reaktivgasdrift, lange Standzeiten, simultane doppelseitige Beschichtung für dünne Wafer sowie präzises In-situ-Monitoring und softwaregestützte Regelung. So lassen sich Ausbeute, Durchsatz und Qualität gleichzeitig steigern – eine Voraussetzung für wettbewerbsfähige Präzisionsoptik »Made in Europe«. 

Trends und Anforderungen neuer Gerätegenerationen 

Besonders gefragt sind heute Wafer-Level-Filter bzw. Filter-on-Chip, laserresistente Beschichtungen für Sicherheits- und Medizintechnik sowie Multi-Gradientenfilter für kompakte Spektroskopiesysteme – alles nur mit reproduzierbarer Hochpräzision wirtschaftlich herstellbar. Gleichzeitig wächst angesichts globaler Lieferkettenrisiken der Bedarf an skalierbaren Fertigungskapazitäten in Europa.

Eine behandschuhte Hand hält vorsichtig eine quadratische, transparente beschichtete Probeplatte vor dunklem Hintergrund; die Oberfläche reflektiert Licht gleichmäßig und wirkt glatt und hochpräzise gefertigt.
© Fraunhofer IST

»Die Photonik gehört zu den Schlüsseltechnologien unserer Zeit. Hochpräzise optische Beschichtungen entscheiden darüber, wie leistungsfähig Sensoren, Lasersysteme oder Instrumente für Satelliten sind. Mit unseren Beschichtungstechnologien schaffen wir die Grundlage dafür, diese Systeme zuverlässig und skalierbar zu produzieren.« 

Prof. Dr.-Ing. Christoph Herrmann, Institutsleiter 

Magnetronsputtern

Technologie im Fokus

Die Technologie kombiniert rotierende Doppelrohrkathoden (engl. Rotatable Magnetrons), die ohne Geometriedrift konstante Beschichtungsraten und homogene Verteilungen ermöglichen, mit reaktivgasfreien Sputterkathoden auf Basis von Mischtargets.

Eine räumlich getrennte Plasmanachreaktion sorgt für höchstmögliche Prozessstabilität und eine präzise Einstellung der Schichtstöchiometrie. Die aufwärtsgerichtete Beschichtungsgeometrie reduziert Partikelkontaminationen, während die simultane doppelseitige Beschichtung dünne Substrate stabilisiert und zugleich den Durchsatz erhöht.

 

Ergänzt wird dieses Anlagenkonzept durch MOCCA, eine modell‑ und datengetriebene Steuer‑ und Monitoring‑Software mit integrierter In‑situ‑Transmissionskontrolle und spektroskopischer Ellipsometrie. Damit lassen sich höchste Uniformitäten nahe 100 Prozent über lange Produktionszeiträume hinweg erreichen, ebenso wie kontrollierte Gradientenprofile und Wafer‑Level‑Filter.

Im Fokus: Präzision in Schichten

 

Grenzen überwinden

Präzision im Nanometerbereich

 Herausforderungen der modernen Optik

 

Präzision trifft Produktivität­

Zwei Generationen der EOSS®-Beschichtungsplattform

 

 

 

Hightech für die Praxis

Einsatzgebiete der Präzisionsoptik

Unsere Kompetenzen und Anwendungsfelder im Bereich Optische und elektronische Systeme

Im Anwendungsfeld für optische und elektronische Systeme entwickeln wir mit Hilfe von Simulation Produktionstechnik für die Herstellung anspruchsvoller optischer Funktionsschichten und optoelektronischer Schichtsysteme. Optische Messsysteme ermöglichen sowohl die Kontrolle der Abscheidung optischer Schichten als auch die Ex-situ-Vermessung von Oberflächen.

 

Produktionstechnik: EOSS®-Technologie

 

Optische uned elektrische Systeme

 

Entwicklung und Produktion optischer Filter als Kleinserien

 

Spektrometer zur Messung optischer Eigenschaften

 

Software für Simulation, Steuerung und Messung

 

Magnetische Positions- und Längenmessung

Unsere Technologien und Kompetenzen

 

Magnetronsputtern

 
  • Transparente leitfähige Oxide, TCOs
  • Präzisionsoptische Schichten für optische Filter und Linsen
  • Elektrische und sensorische Funktionsschichten
  • Tribologische Schichten für Verschleiß- und Korrosionsschutz
  • Aktive Prozessregelung

 

 

High Power Impulse Magnetron Sputtering

  • Kunststoffmetallisierung
  • TCO-Hochleistungsschichten
  • Optische Schichten
  • Elektrische und sensorische Schichten
  • Isolationsschichten
 

Hohlkathodenverfahren

 
  • Magnetische Positions- und Längenmessung
  • Wasserstofftrennmembran
  • Wärmedämmschichten
  • Siliziumschichten
  • Piezoelektrische Schichten

Wir bieten Ihnen Lösungen für Ihre Anwendungen

 

Präzision und Innovation: Optische Technologien für die Zukunft

Optik

Hochpräzise optische Schichten und Systeme – von der Simulation bis zur industriellen Anwendung

 

Präzision, Nachhaltigkeit und Fortschritt im Fokus

Raumfahrt

Robuste Oberflächen für zuverlässige Funktion unter extremen Weltraumbedingungen

 

Schicht- und Systemkompetenz für industrielle Halbleiteranwendungen

Halbleiterindustrie

Dünnschichttechnologien für verbesserte Performance, Prozessstabilität und reduzierte Kontamination in der Halbleiterfertigung

 

Digitale Transformation für Beschichtungstechnologien

Digitalwirtschaft

Simulationsgestützte Prozessoptimierung, Datenplattformen und High-Performance-Computing für die Oberflächentechnik