Aufskalierung und Industrietransfer der optischen Beschichtungsanlage EOSS®

Beschichtungsanlage EOSS®
© Fraunhofer IST, Tobias Zickenrott
Beschichtungsanlage EOSS®.

Herausforderung  

Das Beschichtungssystem EOSS® wurde im Jahr 2011 am Institut aufgebaut und in den Folgejahren zur Produktionsreife weiterentwickelt. Über Lizenzverträge konnten 2017 die ersten Anlagen durch Anlagenbauer verkauft werden. Dafür musste das Konzept der Demonstrationsanlage auf die gewünschte Substratgröße der Kundenanlage aufskaliert werden.

Lösung  

Wissenschaftler und Ingenieure des IST haben den Anlagenbauer sowohl in der Designphase als auch bei der Inbetriebnahme technologisch begleitet. Dazu zählte die Simulation der größeren Sputterkammern hinsichtlich Abständen zum Shutter und Uniformitätsblenden ebenso wie die Auswahl der Prozesse für optische Interferenzfilter. Die im Abnahmeprotokoll definierten umfangreichen Anforderungen hinsichtlich Schicht- und Filtereigenschaften konnten auf Basis der Erfahrungen mit zylindrischen Rohrtargets und dem Steuerungs- und Monitoringsystem MOCCA nachgewiesen werden.

Mehrwert  

Die gemeinsame Arbeit im Technologietransfer konnte die Möglichkeiten der Beschichtungsanlage EOSS® umfassend herausarbeiten. Die Firma Bte nutzt die Anlage für vielfältige Beschichtungsaufträge und arbeitet mit dem IST in laufenden Entwicklungsprojekten an neuen Fragestellungen zur Erweiterung der Möglichkeiten. Das Anlagenkonzept wurde inzwischen an eine Reihe weiterer Unternehmen übertragen.

Weitere Informationen

 

MOCCA-Anlagensteuerung

 

EOSS®-Anlagenkonzept

 

Prozesssimulation