Anlagensteuerung und Prozesskontrolle mit MOCCA auf Industrieanlagen

Benutzeroberfläche von MOCCA<sup>+®</sup> während der Beschichtung eines Kavitätenfilters.
© Fraunhofer IST
Benutzeroberfläche von MOCCA während der Beschichtung eines Kavitätenfilters.

Herausforderung  

Mit dem Transfer des Anlagenkonzepts EOSS® in die Industrie sollte eine vollständig automatisierte Steuerung realisiert werden. Der Kunde wünschte sich die Bedienbarkeit aus nur einem System heraus, so dass alle wesentlichen Anlagenfunktionen in der auf breitbandiger Transmissionsmessung basierenden Monitoringsoftware MOCCA (Modular Optical Coating Control Application) abgebildet werden mussten.

Lösung  

Die über Jahre am IST entwickelte Software MOCCAfür die automatisierte Abscheidung von präzisionsoptischen Filtern auf Basis von Rezepten wurde an die industrielle EOSS®-Anlage angepasst. Dazu gehören Funktionen der Prozessplanung inklusive des Handlings von Substraten ebenso wie Routinen zur automatischen Abschaltung und dem Wiederanfahren bei Stromausfällen. Die Möglichkeiten zum Lernen aus durchgeführten Prozessen hinsichtlich Abscheideraten und Materialeigenschaften wurden so erweitert, dass diese bereits im laufenden Prozess verwendet werden können.

Mehrwert  

Für die Produktion optischer Schichtstapel bietet MOCCA ein Gesamtpaket von Prozessplanung über die automatisierte Filterabscheidung bis hin zur Datenanalyse und -archivierung. Sie wird nun an verschiedenen Anlagen im industriellen Umfeld eingesetzt und ist so konzipiert, dass eine Übertragung auf andere Systeme durch Anpassung der Schnittstelle erfolgen kann.

Einblicke ins Projekt

Durchführung einer Transmissionsbestimmung basierend auf Referenz-, Dunkel- und Substratmessung.
© Fraunhofer IST
Durchführung einer Transmissionsbestimmung basierend auf Referenz-, Dunkel- und Substratmessung.
Anordnung des Strahlengangs an der Beschichtungsanlage.
© Fraunhofer IST
Anordnung des Strahlengangs an der Beschichtungsanlage.
Optisches Breitband-Monitoring-System MOCCA+®.
© Fraunhofer IST, Jan Benz
Optisches Breitband-Monitoring-System MOCCA.

Weitere Informationen

 

MOCCA-Anlagensteuerung

 

EOSS®-Anlagenkonzept

 

Prozesssimulation

Förderhinweis

 

 

Die Arbeiten wurden gefördert durch das das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im Rahmen des Projekts EPIC-Lens (Förderkennzeichen 13N14583).