Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik ISTDigitale Veranstaltung / 11. Dezember 2020
SVC Webinar 2.0
Dr. Ralf Bandorf, Leiter der Gruppe Hochionisierte Plasmen und PECVD am Fraunhofer IST und langjähriges Mitglied im Organisationskommittee der Society of Vacuum Coaters SVC leitet eines aus einer Reihe von 60-90-minütigen interaktiven Webinare im Rahmen der SVC Webinar 2.0. Diese Seminarvortragsreihe findet im Vorfeld der nächsten SVC TechCon statt.
Freitag, 11. Dezember 2020
»Application of Reactive Sputtering«
Dr. Ralf Bandorf, Holger Gerdes
Das Tutorial behandelt die Grundlagen zu den Anwendungen des reaktiven Sputterns. Eine kurze Einführung befasst sich unter anderem mit den Möglichkeiten zur Prozesssteuerung. Im Anschluss werden unter anderem Möglichkeiten zur Vermeidung von Lichtbögen und der Einsatz verschiedener Sensoren zur Prozesssteuerung diskutiert sowie die reaktive Prozesssteuerung für industrielle Prozesse und die aktuellsten Entwicklungen besprochen.