Beiträge aus dem Bereich Simulation

 

Modellierung der Beschichtung auf 3D-Bauteilen

Am Fraunhofer IST wurde ein Verfahren zur Simulation des Schichtdickenprofils auf 3D-Substraten entwickelt.

 

Simulation von Staubteilchen­bewegung

Eine am Fraunhofer IST entwickelte Teilchensimulation ermöglicht die Vorhersage von Verunreinigung von Staub in Plasma-Beschichtungsanlagen.

 

Simulation von Schichtmorphologie und Schichtstöchiometrie

Zur Optimierung von Niederdruck-Beschichtungsprozessen wurde eine parallelisierte Simulationsumgebung entwickelt.

 

Simulation eines HWCVD-Prozesses

Am Fraunhofer IST wurde ein Simulationsmodell zur Optimierung des HWCVD-Prozesses zur Si-Abscheidung entwickelt.