Beiträge aus dem Bereich Simulation

 

Neue Möglichkeiten mit MOCCA

Die am Fraunhofer IST entwickelte MOCCA-Software (Modular Optical Coating Control Applica­tion) ist in der Lage, neben dem optischen Breitbandmonitoring der einzelnen Schichten eines Filters auch die Steuerung der EOSS®-Anlage (Enhanced Optical Sputtering System) zu übernehmen. 

 

Partikel im Beschichtungsprozess

Um das Verhalten von Staubteilchen in Beschichtungsprozessen besser nachvollziehen zu können, wurde am Fraunhofer IST bereits eine Software entwickelt, die in der Lage ist, die Bewegung und das Aufladen von Staubteilchen zu simulieren. Diese diente als Grundlage für die nun ebenfalls am Fraunhofer IST entwickelte Simulationssoftware PALADIN – Plasma Lattice Dust Integrator.

 

Simulation optischer Präzisionsschichten

Daten aus einer am Fraunhofer IST durchgeführten Simulation ermöglichen eine Blendenoptimierung und lösen so Probleme bei der Herstellung optischer Komponenten.

 

CALPHAD-Methode

Mit der CALPHAD-Methode (CALculation of PHAse Diagrams), die auf der Kalkulation von Phasengleichgewichtszuständen und thermodynamischen Eigenschaften in einem definierten System beruht, können Materialeigenschaften berechnet werden.

 

Modellierung der Beschichtung auf 3D-Bauteilen

Am Fraunhofer IST wurde ein Verfahren zur Simulation des Schichtdickenprofils auf 3D-Substraten entwickelt.

 

Simulation von Staubteilchen­bewegung

Eine am Fraunhofer IST entwickelte Teilchensimulation ermöglicht die Vorhersage von Verunreinigung von Staub in Plasma-Beschichtungsanlagen.

 

Simulation von Schichtmorphologie und Schichtstöchiometrie

Zur Optimierung von Niederdruck-Beschichtungsprozessen wurde eine parallelisierte Simulationsumgebung entwickelt.

 

Simulation eines HWCVD-Prozesses

Am Fraunhofer IST wurde ein Simulationsmodell zur Optimierung des HWCVD-Prozesses zur Si-Abscheidung entwickelt.