Elektrische Schichten

Unser Leistungsangebot

Elektrische Funktionsschichten sind Schlüsselkomponenten für eine Vielzahl von Produkten. Das Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST entwickelt kundenorientiert derartige Schichten für neue Schichtmaterialien und Schichtmaterialkombinationen mit definierten elektrischen Eigenschaften sowie die dazugehörigen Beschichtungsprozesse. Beispiele für Anwendungsbereiche sind die Informations- und Kommunikationstechnologie, Photovoltaik, Medizintechnik, Automobil- und Konsumgüterindustrie und die Luft- und Raumfahrt.

Unsere Dienstleistungen

• Schicht- und Prozessentwicklung
• Schichtcharakterisierung
• Simulation und Modellierung
• Fertigung und Beschichtung von Demonstratoren, Prototypen und Kleinserien
• Beratung und Machbarkeitsstudien

Schicht- und Prozessentwicklung

• Kontakt- und Barriereschichten
• Halbleitende Schichten
• Transparente leitfähige Oxide (TCO)
• Leitfähige bordotierte Diamantschichten für Elektroden
• Kunststoffmetallisierungen u. a. für MID-Technologie
• Dünne Metallschichten mit optimierter Leitfähigkeit
• Hochohmschichten mit definierten Widerstandswerten
• Isolationsschichten
• Thermo- und piezoresistive Schichten
• Elektrochrome Schichten

Technologien

• Reinigung und Vorbehandlung
• PVD-Verfahren, z. B. Aufdampfen, Gasflusssputtern, Magnetronsputtern, HIPIMS
• CVD-Verfahren, z. B. Heißdraht-CVD, Plasmaunterstützte CVD
• Photolithographie und Laserstrukturierung
• Galvanische Verfahren, z. B. Kunststoffmetallisierung, Dispersionsschichten
• Atmosphärendruck-Plasmaverfahren, z. B. Corona-Entladung, Dielektrische Barriereentladung, Mikroplasma

Elektrische Schichtcharakterisierung

• Elektrische Leitfähigkeit und Leitfähigkeitsverteilung
• Hall-Effekt
• Thermoelektrische Effekte
• Piezoresistive Effekte
• Photoleitfähigkeit
• Impedanzmessungen
• Durchschlagfestigkeit
• Wärmeleitfähigkeit