Elektrische Schichten

Unser Leistungsangebot

Elektrische Funktionsschichten sind Schlüsselkomponenten für eine Vielzahl von Produkten. Das Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST entwickelt kundenorientiert derartige Schichten für neue Schichtmaterialien und Schichtmaterialkombinationen mit definierten elektrischen Eigenschaften sowie die dazugehörigen Beschichtungsprozesse. Beispiele für Anwendungsbereiche sind die Informations- und Kommunikationstechnologie, Photovoltaik, Medizintechnik, Automobil- und Konsumgüterindustrie und die Luft- und Raumfahrt.

Unsere Dienstleistungen

  • Schicht- und Prozessentwicklung
  • Schichtcharakterisierung
  • Simulation und Modellierung
  • Fertigung und Beschichtung von Demonstratoren, Prototypen und Kleinserien
  • Beratung und Machbarkeitsstudien

Schicht- und Prozessentwicklung

  • Kontakt- und Barriereschichten
  • Halbleitende Schichten
  • Transparente leitfähige Oxide (TCO)
  • Leitfähige bordotierte Diamantschichten für Elektroden
  • Kunststoffmetallisierungen u. a. für MID*-Technologie
  • Dünne Metallschichten mit optimierter Leitfähigkeit
  • Hochohmschichten mit definierten Widerstandswerten
  • Isolationsschichten
  • Thermo- und piezoresistive Schichten

Technologien

  • Reinigung und Vorbehandlung
  • PVD-Verfahren, z. B. Aufdampfen, Gasflusssputtern, Magnetronsputtern, HIPIMS
  • CVD-Verfahren, z. B. Heißdraht-CVD, Plasmaunterstützte CVD
  • Photolithographie und Laserstrukturierung
  • Galvanische Verfahren, z. B. Kunststoffmetallisierung, Dispersionsschichten
  • Atmosphärendruck-Plasmaverfahren, z. B. Corona-Entladung, Dielektrische Barriereentladung, Mikroplasma

Elektrische Schichtcharakterisierung

  • Elektrische Leitfähigkeit und Leitfähigkeitsverteilung
  • Hall-Effekt
  • Thermoelektrische Effekte
  • Piezoresistive Effekte
  • Photoleitfähigkeit
  • Impedanzmessungen
  • Durchschlagfestigkeit
  • Wärmeleitfähigkeit