3D-Strukturierung

Zur Mikrostrukturierung werden am Fraunhofer IST Photolithographie und Laserstrukturierung eingesetzt. Mit diesen Technologien können additiv im Lift-off-Verfahren Mikrostrukturen hergestellt werden. Dabei wird die Werkstückoberfläche erst strukturiert und dann beschichtet. Im Anschluss wird die Maskierung entfernt und die Strukturen verbleiben auf der Oberfläche. Dem gegenüber kann auch subtraktiv gearbeitet werden, indem die Werkstückoberfläche im ersten Schritt vollflächig metallisiert wird und im Anschluss die Strukturkonturen eingeschrieben bzw. mittels Photolithographie und Ätztechniken eingebracht werden. So können Strukturen im Bereich von einigen Mikrometern erzeugt werden. Anwendungsgebiete sind beispielsweise die Temperatur-, Kraft-, Verschleiß-, Gas- und Biosensorik sowie auch die 3D-MID Technologie.