Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Darstellung der Entwicklung der Ladung eines Mikroteilchens in PALADIN. Sichtbar sind die Sputtertargets (grau, mittig) und das Substrat (gelb, oben) der EOSS®.
Aerosolsimulation – Simulation der Bewegung von Partikeln und Aerosolen
Kombination von Strömungs- und Partikelsimulation in verschiedenen Druckbereichen
Der am Fraunhofer IST entwickelte Simulationscode PALADIN (Plasma Lattice Dust Integrator) für Makro-Partikeltransport enthält zahlreiche physikalische Mechanismen, lässt sich einfach um weitere Mechanismen erweitern und berücksichtigt auch die Haftung an Wänden. Strömungs- und Potentialverteilungen können von unterschiedlichen Codes (eigener DSMC/PIC-MC-Code sowie CFD-Tools) importiert werden. Es bestehen Erfahrungen in unterschiedlichen Projekten, z.B. Staubteilchen in Plasma-Beschichtungsprozessen, Aerosoltransport in Raumluftströmungen bei Atmosphärendruck und Beseitigung von Mondstaub mittels elektrischer Wechselfelder.
Analyse des Staub- und Aerosoltransports im Niederdruck- und Atmosphärendruckbereich
Staubteilchen verursachen Defekte in Beschichtungsprozessen, elektrooptischen Geräten oder sind – in Form von Aerosolen – Ursache von Kontaminationen und Infektionen in Produktionsstätten oder Transportmitteln. Eine modellgestützte Analyse ermöglicht die Minimierung der Staubteilchenkontamination – sei es durch Optimierung der Aufstellung von Lüftungsgeräten oder durch Modifizierung der Anordnung in Plasmabeschichtungsanlagen. Das Fraunhofer IST bietet Unterstützung in der Durchführung gekoppelter CFD- / Partikelsimulationen – der Simulationscode PALADIN kann zudem lizenziert werden.