Magnetische Positions- und Längenmessung

Flexible Abscheidung von magnetischen Materialien mit attraktiven Beschichtungsraten

Für die zuverlässige Herstellung glatter und kompakter Schichten bieten sich generell alle Sputterverfahren an. Allerdings kann das weit verbreitete Magnetronsputtern gerade für magnetische Materialien nur sehr eingeschränkt eingesetzt werden, da diese das Funktionsprinzip des Magnetrons außer Kraft setzen. Gut geeignet für die Abscheidung magnetischer Materialien ist dagegen das Hohlkathoden-Gasfluss-Sputtern. Als magnetfeldfreies Hochrate-Sputterverfahren können damit auch Schichtdicken von mehreren zehn Mikrometern wirtschaftlich hergestellt werden.

 

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Die Hohlkathodentechnologie wurde am Fraunhofer IST über Jahrzehnte entwickelt und in verschiedenen Anwendungen teilweise bis zur Marktreife verfeinert. Das Gasfluss-Sputtern ist die Methode der Wahl, wenn es um die wirtschaftliche Abscheidung von magnetischen Schichten mit Dicken im Bereich bis zu einigen 10 Mikrometern geht.

 

Weitere Informationen

 

Das Fraunhofer IST in der Fachpresse

Publikation

Ralf Bandorf, Kai Ortner, Marco Krau

PVD-Abscheidung von CoSm-Schichten für magnetische Maßstäbe.

In: Vakuum in Forschung und Praxis, Volume 32, Issue 5, October/November 2020

 

 

Aus der Forschung

Magnetschichten mit Gasfluss-Sputtern

Magnetische Schichten haben sich als zuverlässige und hochgenaue Informationsträger etabliert, etwa in Festplattenspeichern oder auf Magnetkarten. Aber auch für mechanische und elektro­mechanische Elemente bieten Magnetschichten ein großes Potenzial, um Positionen, Geschwindigkeiten oder Winkel von bewegten Elementen präzise im Betrieb messen zu können. 

 

Pressemitteilung

Hartmagnetische Schichten für die hochpräzise Mikroskopie

Spezial-Mikroskope sind ein unverzichtbares Hilfsmittel bei der Darstellung kleinster Zellstrukturen. Sie helfen, die Entwicklung von Impfstoffen und Therapien voranzutreiben. Hartmagnetische Schichten des Fraunhofer IST tragen dazu bei, kleinste Zellstrukturen sehr schnell und genau zu erfassen.