Transparente leitfähige Oxide

Das Fraunhofer IST erforscht und entwickelt seit über 10 Jahren transparente und zugleich leitfähige Materialien, so genannte TCO (englisch: transparent conductive oxides). Hierbei wird in kristallinen, transparenten Materialien durch Einbringung eines Dotanden die Leitfähigkeit erzeugt. Beispiele dieser Materialien sind: Indiumoxid (In2O3:Sn), Zinkoxid (ZnO:Al, ZnO:Ga, ZnO:Ti), Zinnoxid (SnO2:F, SnO2:Sb, SnO2:Ta) und in jüngster Zeit Titanoxid (TiO2:Nb). Die Arbeiten konzentrieren sich auf die Optimierung von Materialeigenschaften der TCO, z. B.  Leitfähigkeit, Lichttransmission und Oberflächenrauigkeit, die Adaption für kundenspezifische Anwendungen und die Weiterentwicklung der Beschichtungstechnologie. Zusätzlich werden für Forschungs- und Entwicklungszwecke Beschichtungen, z. B. transparente und leitfähige ITO-Schichten, angeboten.

Unser Angebot für Sie

ITO-Beschichtungen für beste Performance

  • Substrat-Temperatur TSub = 350°C
  • Spezifischer Widerstand ρ = 157 µΩcm
  • Schichtdicke z. B. 175 nm ⇒ Tvisuell ≈ 87 %, Schichtwiderstand Rsh = 9 Ω

ITO-Beschichtungen für empfindliche Substrate

  • Substrat-Temperatur TSub = Raumtemperatur
  • Spezifischer Widerstand ρ = 815 µΩcm
  • Schichtdicke z. B. 148 nm ⇒ Tvisuell ≈ 85,5 %, Schichtwiderstand Rsh = 55 Ω  

ITO-Beschichtungen für »Coat and Bend« Prozesse

  • Beschichtung bei Raumtemperatur und anschließende Temperung
  • Spezifischer Widerstand ρ ≈ 300 µΩcm
  • Schichtdicke z. B. 140 nm ⇒ Tvisuell = 86 %, Schichtwiderstand Rsh = 21 Ω
  • Das Substrat kann während des Tempervorgangs gebogen werden. Die Schicht reißt nicht (so genannter »Coat and Bend« Prozess). Der mechanische und chemische Schutz des Substrats wird verbessert.
  • Beschichtung komplexer Bauteile,  z. B. von Glasrohren, ist möglich

Forschungs- und Entwicklungsarbeiten zur Anpassung von TCO für spezielle Anwendungen, z. B. Heizschichten, schaltbare Gläser, Flachbildschirme (TFT), Touch Screens, niedrig emitierende Beschichtungen (low-e), Wärmeschutzschichten, Leuchtdioden (LED, OLED), Solarzellen, Dünnschichttransistoren, Dünnglas und Architekturglasbeschichtungen.