Kinetische Plasma- und Strömungssimulation für Niederdruck-Beschichtungsprozesse

Direct Simulation Monte Carlo DSMC Simulation von thermischem Verdampfen
© Fraunhofer IST
Direct Simulation Monte Carlo DSMC: Simulation von thermischem Verdampfen

Strömungs- und Transportsimulation in Kombination mit langjähriger Prozesserfahrung

Am Fraunhofer IST bestehen langjährige Erfahrungen in der Modellierung von Beschichtungsprozessen und deren Validierung an realen Industrieanlagen. Diese Kompetenz ist wichtig zur Konzeption aussagekräftiger Simulationsstudien an neuen Anlagengeometrien und zur Beurteilung und effizienten Verwertung der Ergebnisse. Neben der Durchführung von Simulationsstudien bieten wir Wissenstransfer durch Hands-on-Workshops und Lizenzierung unserer Software. 

Modellgestützte Produkt- und Prozessoptimierung, verbessertes Prozessverständnis

Produkt- und Prozesssimulation ermöglicht die Durchführung von Machbarkeits- und Optimierungsstudien bei zunächst minimalem experimentellen Aufwand. Dies schließt auch Ausführungsbeispiele für Patentanwendungen mit ein. DSMC- (Direct Simulation Monte Carlo) und PIC-MC- (Particle-in-Cell-Monte Carlo) Simulationen ermöglichen die Vorhersage von Plasmaprozessen, Schichtdickenverteilung und Stöchiometrie in 3D-Geometrien und bieten somit eine  Entscheidungsgrundlage bei der Entwicklung von Beschichtungsanlagenkomponenten und Prozessen. 

 

Weitere Informationen

 

Aufskalierung von PECVD-Prozessen

 

Simulation optischer Präzisionsschichten

 

Simulation von HWCVD-Silizium-Beschichtungsprozessen