Kinetische Plasma- und Strömungssimulation für Niederdruck-Beschichtungsprozesse

Strömungs- und Transportsimulation in Kombination mit langjähriger Prozesserfahrung

Am Fraunhofer IST bestehen langjährige Erfahrungen in der Modellierung von Beschichtungsprozessen und deren Validierung an realen Industrieanlagen. Diese Kompetenz ist wichtig zur Konzeption aussagekräftiger Simulationsstudien an neuen Anlagengeometrien und zur Beurteilung und effizienten Verwertung der Ergebnisse. Neben der Durchführung von Simulationsstudien bieten wir Wissenstransfer durch Hands-on-Workshops und Lizenzierung unserer Software. 

Modellgestützte Produkt- und Prozessoptimierung, verbessertes Prozessverständnis

Produkt- und Prozesssimulation ermöglicht die Durchführung von Machbarkeits- und Optimierungsstudien bei zunächst minimalem experimentellem Aufwand. Dies schließt auch Ausführungsbeispiele für Patentanwendungen mit ein. DSMC- (Direct Simulation Monte Carlo) und PIC-MC- (Particle-in-Cell-Monte Carlo) Simulationen ermöglichen die Vorhersage von Plasmaprozessen, Schichtdickenverteilung und Stöchiometrie in 3D-Geometrien und bieten somit eine  Entscheidungsgrundlage bei der Entwicklung von Beschichtungsanlagenkomponenten und Prozessen.