Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Prozesskontrolle auf Industrieanlage: Benutzeroberfläche von MOCCA+® während der Beschichtung eines Kavitätenfilters.
Anlagensteuerung und Prozesskontrolle mit MOCCA+® auf Industrieanlagen
Herausforderung
Mit dem Transfer des Anlagenkonzepts EOSS® in die Industrie sollte eine vollständig automatisierte Anlagensteuerung realisiert werden. Der Kunde wünschte sich die Bedienbarkeit aus nur einem System heraus, so dass alle wesentlichen Anlagenfunktionen in der auf breitbandiger Transmissionsmessung basierenden Monitoringsoftware MOCCA+® (Modular Optical Coating Control Application) abgebildet werden mussten.
Lösung
Die über Jahre am IST entwickelte Software MOCCA+® für die automatisierte Abscheidung von präzisionsoptischen Filtern auf Basis von Rezepten wurde an die industrielle EOSS®-Anlage angepasst. Dazu gehören Funktionen der Prozessplanung inklusive des Handlings von Substraten ebenso wie Routinen zur automatischen Abschaltung und dem Wiederanfahren bei Stromausfällen. Die Möglichkeiten zum Lernen aus durchgeführten Prozessen hinsichtlich Abscheideraten und Materialeigenschaften wurden so erweitert, dass diese bereits im laufenden Prozess verwendet werden können.
Mehrwert
Für die automatisierte Produktion optischer Beschichtungen bietet MOCCA+® ein Gesamtpaket von Prozessplanung über die automatisierte Filterabscheidung bis hin zur Datenanalyse und -archivierung. Sie wird nun an zahlreichen Stellen zur Prozesskontrolle von Industrieanlagen eingesetzt und ist so konzipiert, dass eine Übertragung auf andere Systeme durch Anpassung der Schnittstelle erfolgen kann.
Einblicke ins Projekt
Durchführung einer Transmissionsbestimmung basierend auf Referenz-, Dunkel- und Substratmessung.
Anordnung des Strahlengangs an der Beschichtungsanlage.
Breitband-Monitoring-System MOCCA+® zur Automatisierung optischer Beschichtungen.
