Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik ISTFlexible Abscheidung von magnetischen Schichten mit attraktiven Beschichtungsraten
Für die zuverlässige Herstellung glatter und kompakter magnetischer Schichten bieten sich generell Sputterverfahren an. Allerdings kann das weit verbreitete Magnetronsputtern gerade für magnetische Materialien nur sehr eingeschränkt eingesetzt werden, da diese das Funktionsprinzip des Magnetrons außer Kraft setzen. Gut geeignet für die Abscheidung magnetischer Materialien ist dagegen das Hohlkathoden-Gasfluss-Sputtern. Als magnetfeldfreies Hochrate-Sputterverfahren können damit auch Schichtdicken von mehreren zehn Mikrometern wirtschaftlich hergestellt werden. Die Codierung unserer magnetischen Bänder stellt die Grundlage für magnetische Positionsmessung und Längenmessung dar.
Während die magnetischen Längenmessung häufig in der Fertigungsindustrie Anwendungen findet, um die Genauigkeit von Bauteilen zu gewährleisten, kann die magnetische Positionsmessung in verschiedenen Bereichen wie Navigationssystemen, Robotik und industriellen Automatisierungssystemen eingesetzt werden. Benötigen Sie Unterstützung in einem dieser oder ganz anderen Bereichen? Sprechen Sie uns an!
Profitieren Sie auch von unserem Know-how im Bereich der Entwicklung von Beschichtungsquellen und der Implementierung in Beschichtungsprozesse und -anlagen
Die Hohlkathodentechnologie als eine Variante der PVD-Beschichtung wurde am Fraunhofer IST über Jahrzehnte entwickelt und in verschiedenen Anwendungen bis zur Marktreife verfeinert. Das Hohlkathoden-Gasfluss-Sputtern ist die Methode der Wahl, wenn es um die wirtschaftliche Abscheidung von magnetischen Schichten mit Dicken im Bereich bis zu einigen 10 Mikrometern geht.