Die Oberflächen vieler Bauteile und Werkzeuge unterliegen extremen Belastungen. Diffusionsbehandlungen mit Kohlenstoff, Stickstoff und Bor können durch Oberflächenverhärtung Verschleißerscheinungen deutlich reduzieren. Die Behandlung erfolgt häufig in Gasen, im Salzbad oder im Pulver. Zunehmend setzt sich jedoch eine Behandlung im Plasma, die Plasmadiffusion, durch.