Nachgefragt...

Eigentlich ist es trivial: Um Gase aus einem Behälter, also aus einem vorgegebenen Volumen zu entfernen, müssen wir pumpen, wie wir das auch von Flüssigkeiten her kennen. Allerdings gibt es wesentliche Unterschiede zwischen dem Pumpen von Flüssigkeiten und dem Pumpen von Gasen. Flüssigkeiten sind inkompressibel, d.h. ändern ihr Volumen bei konstanter Temperatur auch dann nicht, wenn höchste Drücke angewendet werden. Bekannterweise beruht die hydraulische Kraftübertragung auf dieser Inkompressibiliät.

Bei Leybold-Heraeus, seinerzeit einer der Marktführer im Vakuumanlagenbau, lernte ich den doppeldeutigen Spruch: »Wir haben das Vakuum im Kopf!« Mit dem Vakuum haben sich bereits die Griechen um 500 v. Chr. beschäftigt. Der Physiker definiert heute das Vakuum im strengen Sinne als einen Raum, der weder Materie noch Strahlung oder Kraftfelder enthält. Um das Vakuum technisch nutzbar zu machen, z. B. für die Deposition hochwertiger Dünnschichten, benötigen wir auf jeden Fall Materie sowie elektrische und magnetische Felder, unter Umständen auch Strahlung. Wir nutzen stark verdünnte Gase, um Niederdruckplasmen zu betreiben, die wiederum als Energielieferant für die Schichtabscheidung dienen.