Substratreinigung Präzisionsoptik

Eine wichtige Voraussetzung für die Herstellung hochwertiger Optiken bildet die Substratreinigung. Speziell für diesen Zweck wurde eine vollautomatisierte Reinigungsanlage am Fraunhofer IST entwickelt. Zielsetzung war es dabei extrem flexibel und kostengünstig auf die unterschiedlichsten Substratgeometrien eingehen zu können. In einer Reinraumatmosphäre arbeitenden ultraschallgestützten Reinigungsstraße werden die Substrate von Partikeln und organischen Verschmutzungen befreit.


Technische Daten im Überblick: 

  • Arbeiten mit unterschiedlichen Frequenzen: 40, 80, 120 und 250 kHz.
  • Flexibler Substrathalter für Substrate von ca. 2-140 cm² spannbar
  • Bewegungsgeschwindigkeiten von 0,02 – 50 mm/s frei programmierbar
  • Einsatz verschiedener Reiniger
  • Reinraumatmosphäre
  • Beliebige Reinigungsabläufe programmierbar
  • Einzelne Spülung der Becken mit hochreinem VE-Wasser