Optische Funktionsschichten am Fraunhofer IST
Die Entwicklung optischer Funktionsschichten und der zugehörigen Beschichtungsprozesse ist ein wichtiger Schwerpunkt des Fraunhofer-Instituts für Schicht- und Oberflächentechnik IST. In vielen industriellen Anwendungen wie z. B. der Photovoltaik, Displaytechnologie, Architektur- und Kfz-Verglasung, Verkehrs-, Informations- und Elektrotechnik ist die Beschichtung optischer Baugruppen der Schlüssel zur Realisierung geforderter Produkteigenschaften wie Reflexion, Transmission, Polarisation, Streuung oder Farbe.
Prozess- und Anlagentechnik
Im Bereich der Prozessentwicklung konzentrieren sich die Arbeiten des Instituts auf Sputter-, PACVD- und Aufdampfverfahren. Der in-situ Prozesskontrolle kommt hier eine besondere Bedeutung zu. Das Fraunhofer IST verfügt über einen umfangreichen Anlagenpark für die Abscheidung und Charakterisierung hochwertiger Schichten.
- Magnetron-Sputtern, ALD-Beschichtungstechnik sowie Aufdampfen für optische Schichten
- In-situ Kontrolle und Monitoring, u. a. das Softwarepaket MOCCA+
- Modellbasierte Auslegung von Beschichtungsanlagen und -prozessen
- Entwicklung und Optimierung von Beschichtungsquellen
Schichtcharakterisierung
- Optische Charakterisierung mittels Photometrie und Ellipsometrie
- Mikrocharakterisierung, z. B. mit AFM, REM, XRD, EPMA und SIMS
- Individuelle Anwendungstests, z. B. für Photokatalyse, Kratzfestigkeit, Schichthaftung oder Temperaturbeständigkeit