Optische Funktionsschichten

Optische Funktionsschichten am Fraunhofer IST

Die Entwicklung optischer Funktionsschichten und der zugehörigen Beschichtungsprozesse ist ein wichtiger Schwerpunkt des Fraunhofer-Instituts für Schicht- und Oberflächentechnik IST. In vielen industriellen Anwendungen wie z. B. der Photovoltaik, Displaytechnologie, Architektur- und Kfz-Verglasung, Verkehrs-, Informations- und Elektrotechnik ist die Beschichtung optischer Baugruppen der Schlüssel zur Realisierung geforderter Produkteigenschaften wie Reflexion, Transmission, Polarisation, Streuung oder Farbe.

Prozess- und Anlagentechnik

Im Bereich der Prozessentwicklung konzentrieren sich die Arbeiten des Instituts auf Sputter-, PACVD- und Aufdampfverfahren. Der in-situ Prozesskontrolle kommt hier eine besondere Bedeutung zu. Das Fraunhofer IST verfügt über einen umfangreichen Anlagenpark für die Abscheidung und Charakterisierung hochwertiger Schichten.

• Magnetron-Sputtern, ALD-Beschichtungstechnik sowie Aufdampfen für optische Schichten
• In-situ Kontrolle und Monitoring, u. a. das Softwarepaket MOCCA⁺
• Modellbasierte Auslegung von Beschichtungsanlagen und -prozessen
• Entwicklung und Optimierung von Beschichtungsquellen

Schichtcharakterisierung

• Optische Charakterisierung mittels Photometrie und Ellipsometrie
• Mikrocharakterisierung, z. B. mit AFM, REM, XRD, EPMA und SIMS
• Individuelle Anwendungstests, z. B. für Photokatalyse, Kratzfestigkeit, Schichthaftung oder Temperaturbeständigkeit