Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik ISTDas Fraunhofer IST konstruiert und baut PVD- und CVD-Beschichtungsquellen, die auf der Hohlkathoden-Glimmentladung basieren. Mit Hilfe dieser Quellen werden Hochrate-Beschichtungsprozesse für spezielle Kundenanforderungen wie z. B. für die Abscheidung von magnetischen, katalytischen oder piezoelektrischen Materialien, hochtemperaturfesten Oxiden, oder metallisch-keramischen Kompositen entwickelt. Am Fraunhofer IST stehen Kunden insgesamt neun Beschichtungsanlagen mit Hohlkathoden-basierten PVD-Quellen (bis zu 500 mm Länge) zur Verfügung.
Unser Angebot
- Auslegung von Hohlkathoden-Quellen
- Konstruktion und Aufbau kundenspezifischer Lösungen
- Entwicklung und Evaluierung von Beschichtungsprozessen auf industriellen Anlagen
- Charakterisierung der Beschichtungen