Hohlkathoden

Das Fraunhofer IST konstruiert und baut PVD- und CVD-Beschichtungsquellen, die auf der Hohlkathoden-Glimmentladung basieren. Mit Hilfe dieser Quellen werden Hochrate-Beschichtungsprozesse für spezielle Kundenanforderungen wie z. B. für die Abscheidung von magnetischen, katalytischen oder piezoelektrischen Materialien, hochtemperaturfesten Oxiden, oder metallisch-keramischen Kompositen entwickelt. Am Fraunhofer IST stehen Kunden insgesamt neun Beschichtungsanlagen mit Hohlkathoden-basierten PVD-Quellen (bis zu 500 mm Länge) zur Verfügung.

Unser Angebot

  • Auslegung von Hohlkathoden-Quellen
  • Konstruktion und Aufbau kundenspezifischer Lösungen
  • Entwicklung und Evaluierung von Beschichtungsprozessen auf industriellen Anlagen
  • Charakterisierung der Beschichtungen