Dynamic Sputter Coating Universal System – Dyscus

Das »Dynamic Sputter Coating Universal System« (Dyscus) stellt eine hochflexible Beschichtungsanlage dar, die eine Vielzahl an Freiheitsgraden bietet. Es handelt sich hier wie bei der EOSS® um eine Drehtelleranlage. Allerdings können hier nahezu alle prozessrelevanten Parameter variiert werden. Dies ist besonders dann wünschenswert, wenn es darum geht neue Technologien zu entwickeln, zu bewerten oder einzufahren. Durch eine größtmögliche Flexibilität stellt die Dyscus die optimale Plattform zur Schicht- und Prozessentwicklung dar.

Technische Daten

  • 4 Substratcarrier mit einem nutzbaren Durchmesser von 400 mm
  • Sputterleistungen bis 10 kW pro Meter und Target
  • Sowohl zylindrische als auch planare Kathoden einsetzbar
  • Optisches Monitoring
  • Prozessautomatisierung durch MOCCA
  • RF-Plasmaquelle
  • Substratheizung bis 500 °C Substrattemperatur
  • Vielzahl von Materialien verfügbar: Nb, Ti, Al, Si, AlZo, ITO,...