Anlagen und Komponenten

Das Fraunhofer IST ist an der Entwicklung unterschiedlichster Anlagen und Komponenten beteiligt. Dabei reicht das Spektrum von der Prototypentwicklung über wirtschaftliche Produktionsszenarien und die Skalierung auf industrielle Maßstäbe bis hin zu Transfer und Implementierung beim Kunden. Im Folgenden sehen Sie eine Auflistung der aktuellsten Entwicklungen des Fraunhofer IST in diesem Bereich.

 

EOSS®

Das Fraunhofer IST hat mit dem Sputtersystem Enhanced Optical Sputtering System – EOSS® eine hochmoderne Anlage zur Verfügung, um präzise optische Interferenzfiltersysteme herzustellen.

 

Dyscus

Mit dem »Dynamic Sputter Coating Universal System« (Dyscus) verfügt das Fraunhofer IST über eine hochflexible Beschichtungsanlage, bei der nahezu alle prozessrelevanten Parameter variiert werden können.  

 

MOCCA+®

Mt dem am Fraunhofer IST entwickelte Monitoringsystem Modular Coating Control Application (MOCCA) kann der gesamte Herstellungprozess optischer Interferenzfiltersysteme überwacht und automatisiert werden.

 

Megatron®

Mit dem am Fraunhofer IST entwickelte Beschichtungsmodul Megatron® kann die Sputterrate während des Beschichtungsverfahrens erheblich gesteigert werden.  

 

Hohlkathoden

Das Fraunhofer IST verfügt über verschiedene Hohlkathoden-Quellen wie beispielsweise Gasfluss-Sputterquellen für die Abscheidung von u.a. Erosionsschutz- und hartmagnetischen Schichten.    

 

Disc-Jet

Am Fraunhofer IST wurde ein Plasmaquellenkonzept entwickelt, das  eine sowohl flächige als auch konturgenaue und tiefengängige Behandlung selbst temperaturempfindlicher Substrate erlaubt.  

 

Anlagen mit kalten Plasmen

Das Fraunhofer IST entwickelt Plasma-module und Einzelanlagen, die durch den Einsatz kalter Atmosphärendruckplasmen innovative Anwendungen ermöglichen.