Mit einem speziellen Zusatz zum AFM (Firma Hysitron) lassen sich auch Reibungs- und Verschleißtests auf Mikrometerflächen durchführen. Dabei wird eine konische Diamantspitze mit definierter Last lateral über die Oberfläche geführt und Reibung und Verschleiß bestimmt. Darüber hinaus sind Ritztests mit steigender Last (siehe Graphik), oszillierende Tests mit konstanter Last oder Flächenverschleißtests möglich. Mit diesem Verfahren können auch an sehr dünnen Schichten (Dicke 5–500 nm) Scratch- und Verschleißtests durchgeführt werden, was mit konventionellen Ritz- oder Tribotests nicht möglich ist.