Taktile Profilometrie

Charakterisierung der Oberflächentopographie mittels taktiler Profilometrie

Bei den Tastschnittverfahren wird die Oberfläche mit einer feinen Diamantspitze entlang einer Linie abgetastet und auf diese Weise ein Höhenprofil aufgenommen. Aus dem Höhenprofil lassen sich eine Vielzahl oberflächenmorphologischer Parameter ermitteln, z. B. Rauhigkeit, Welligkeit, das Höhenhistogramm, Schiefe und Steilheit der Höhenverteilung, mittlere lokale Oberflächensteigung, Traganteile, etc.

Zwei Geräte mit unterschiedlichen Auflösungen

Dem Fraunhofer IST stehen zwei Tastschnittgeräte für die taktile Profilometrie zur Verfügung. Das Dektak XT der Firma Bruker (vertikale Auflösung 0,5 nm, laterale Auflösung 0,2 bzw. 1,25 µm) und das Talysurf von Taylor Hobson (vertikale Auflösung 15 nm, laterale Auflösung 0,25 µm). Beide Geräte können sowohl 2D- als auch 3D-Scans aufnehmen. Mit dem Talysurf lassen sich auch große Bauteile und komplexe Geometrien bzgl. Rauheit und Topographie charakterisieren.