Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik ISTBei den Tastschnittverfahren wird eine Oberfläche mit einer feinen Diamantspitze entlang einer Linie abgetastet und auf diese Weise ein Höhenprofil aufgenommen. Aus dem Höhenprofil lassen sich eine Vielzahl oberflächenmorphologischer Parameter ermitteln, z. B. Rauhigkeit, Welligkeit, das Höhenhistogramm, Schiefe und Steilheit der Höhenverteilung, mittlere lokale Oberflächensteigung, Traganteile, etc.
Profilometrie
Profilometer am Fraunhofer IST
Profilometer |
Dektak XT (Bruker) |
Talysurf (Taylor Hobson) |
|---|---|---|
Vertikale Auflösung |
0,5 nm |
15nm |
Laterale Auflösung |
~ 0,2 und 1,25 µm |
0,25 µm |
Vertikaler Messbereich |
1 mm |
1 mm |
Spitzenradius |
2 und 12,5µm |
2,5 µm |
Auflagelast |
1 – 15 mg |
~70 mg |
Messlänge |
55 mm (+3D Scan) |
1 – 120 mm (+3D Scan) |
Talysurf
Mit dem Talysurf lassen sich auch große Bauteile und komplexe Geometrien bzgl. Rauheit und Topographie charakterisieren.
Profilometrische Schichtdickenbestimmung
Durch Präparation einer Stufe und Anwendung des Tastschnitt lassen sich sehr schnell, einfach und präzise Schichtdicken bestimmen.