Profilometrie

Bei den Tastschnittverfahren wird eine Oberfläche mit einer feinen Diamantspitze entlang einer Linie abgetastet und auf diese Weise ein Höhenprofil aufgenommen. Aus dem Höhenprofil lassen sich eine Vielzahl oberflächenmorphologischer Parameter ermitteln, z. B. Rauhigkeit, Welligkeit, das Höhenhistogramm, Schiefe und Steilheit der Höhenverteilung, mittlere lokale Oberflächensteigung, Traganteile, etc.

Profilometer am Fraunhofer IST

 

Profilometer

Dektak XT (Bruker)

Talysurf (Taylor Hobson)

Vertikale Auflösung

0,5 nm

15nm

Laterale Auflösung

~ 0,2 und 1,25 µm

0,25 µm

Vertikaler Messbereich

1 mm

1 mm

Spitzenradius

2 und 12,5µm

2,5 µm

Auflagelast

1 – 15 mg

~70 mg

Messlänge

55 mm   (+3D Scan)

1 – 120 mm   (+3D Scan)

Talysurf

Talysurf zur Charakterisierung von Rauheit und Topographie auch großer Bauteile und komplexer Geometrien.
© Fraunhofer IST

Mit dem Talysurf lassen sich auch große Bauteile und komplexe Geometrien bzgl. Rauheit und Topographie charakterisieren.

Profilometrische Schichtdickenbestimmung

Profilometrische Schichtdickenbestimmung
© Fraunhofer IST

Durch Präparation einer Stufe und Anwendung des Tastschnitt lassen sich sehr schnell, einfach und präzise Schichtdicken bestimmen.