Bei den Tastschnittverfahren wird eine Oberfläche mit einer feinen Diamantspitze entlang einer Linie abgetastet und auf diese Weise ein Höhenprofil aufgenommen. Aus dem Höhenprofil lassen sich eine Vielzahl oberflächenmorphologischer Parameter ermitteln, z. B. Rauhigkeit, Welligkeit, das Höhenhistogramm, Schiefe und Steilheit der Höhenverteilung, mittlere lokale Oberflächensteigung, Traganteile, etc.