Optische Mikroskopie (2D/3D)

Konfokales Lasermikroskop CLM

Das konfokale Lasermikroskop erlaubt dreidimensionale optische Abbildungen von Oberflächen. Das Bild wird erzeugt, in dem die sehr scharf definierte Fokusebene vertikal durch das Objekt gefahren wird. Die laterale Auflösung liegt dabei im Bereich von 1 μm, die Höhenauflösung erreicht dagegen wenige Nanometer. Das Verfahren liefert innerhalb von wenigen Minuten quantitative Informationen unter anderem über Oberflächentopographie, Rauhigkeit, Stufenhöhen, Steigungswinkel oder Partikelgrößen. Im Vergleich zu taktilen profilometrischen Verfahren ist es deutlich schneller und es können auch weiche oder instabile Oberflächen, wie z. B. Polymere oder Pulver abgebildet werden. Bis zu einem gewissen Grad kann auch durch transparente Deckschichten hindurch gemessen werden.

CLM-Aufnahme von Partikeln auf einer Oberfläche

CLM-Aufnahme von Partikeln auf einer Oberfläche.
© Fraunhofer IST

Die 3D-Partikelaufnahme erlaubt auch die statistische Auswertung von Partikeldurchmessern, Partikelformen, Partikeldicke.

CLM-Aufnahme von Vickers-Eindrücken in einer Oberfläche

CLM-Aufnahme von Vickers-Eindrücken in einer Oberfläche
© Fraunhoferi IST

Das Beispiel der Vickers-Eindrücke zeigt, dass eine quantitave Bestimmung von Lochtiefen und Öffnungswinkeln möglich ist.

Höhenprofil eines Punktgitters

Auswertung von Linien- Querschnittsprofilen eines Punktgitters.
© Fraunhofer IST

Auswertung von Linien- Querschnittsprofilen eines Punktgitters.