Mechanische Untersuchung

Es gibt eine Reihe von Mess- und Prüfverfahren, mit denen mechanische Eigenschaften von Schichten und Oberflächen bestimmt werden können. Das sind z. B. die Mikro- und Nanoindentierung, mit denen sich die Härte und der Elastizitätsmodul von Schichten im Mikro- und Submikrometerbereich bestimmen lassen. Mechanische Eigenspannungen können bei kristallinen Materialien mittels Röntgenbeugung bestimmt werden. Eine weitere sehr wichtige mechanische Kenngröße von Schichten ist auch die Stärke der Haftung der Schicht auf dem Substrat. Diese kann bei harten Materialien mittels Scratch- oder Rockwelltest bestimmt werden. Ebenso ist die Schichtdicke eine der wesentlichen Basisgrößen die bestimmt wird. Hierfür gibt es abhängig von Material, Dicke, Substrat, Geometrie, etc. eine ganze Palette von Verfahren, die jeweils für unterschiedliche Anwendungen optimale Ergebnisse liefern. Zug- und Biegetest können spezielle Dehnungsbelastungen von beschichteten Bauteilen simulieren.