GDOES

Glimmentladungsspektroskopie GDOES Tiefenprofil eines carbonnitrierten Stahls
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GDOES Tiefenprofil eines carbonnitrierten Stahls.

Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy (GDOES) oder Glimmentladunsspektroskopie ist ein Verfahren zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung als Funktion der Tiefe für Schichtdicken von einigen 100 nm bis zu einigen 10-50 µm. Dabei wird ein Ar-Plasma über der Oberfläche der Probe gezündet und das Material mit relativ hoher Rate abgetragen. Die abgetragenen Atome sind angeregt und emittieren daher Licht im sichtbaren Bereich, welches mit einer Vielzahl von Spektrometern gemessen wird. Mit geeigneter Kalibrierung kann aus der Intensität des emittierten Lichts die Konzentration der Elemente in der Probe bestimmt werden. Die laterale Auflösung dieses Verfahrens ist gering (Messfleck ca. 5 mm Durchmesser), die Tiefenauflösung kann dagegen im Bereich 10 nm liegen. GDOES ist ein schnelles Verfahren, welches vor allem für »dicke« Schichten z. B. galvanische Schichten, Nitrierschichten, o. ä. geeignet ist.