Chemische Analyse und Strukturanalyse

Am Fraunhofer IST besteht die Möglichkeit, chemische Zusammensetzungen von Schichten und Oberflächen mit hoher lateraler Auflösung (< 1 µm mittels EDX/EPMA) und hoher vertikaler Auflösung (~1 nm mittels SIMS) zu bestimmen. Mit Hilfe der Röntgenbeugung können die Kristallstruktur, Korngrößen, Texturen und Eigenspannungen charakterisiert werden.