Schichtdickenbestimmung

Schichtdickenbestimmung durch Ausmessung einer Stufe.
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Schichtdickenbestimmung durch Ausmessung einer Stufe.

Verschiedene Verfahren der Schichtdicken-Bestimmung

Je nach Art und Dicke einer Beschichtung gibt es verschiedene zerstörungsfreie und zerstörende Schichtdicken Prüfungsverfahren:

1. Profilometrisch, durch Messung einer Schichtstufe

2. Durch Erstellung eines Querschliffs und Abbildung im Mikroskop (REM)

3. Durch Erstellung und Vermessung eines Kalottenschliffs

4. Mithilfe der Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA)

5. Wirbelstrom oder Magnetische Induktion 

6. Röngenreflektometrie (für Schichtdicken von 1 - 200 nm auf glatten Substraten)

7. EPMA: durch Bestimmung der Massenbelegung der Schichten

8. Ellipsometrie und Photometrie für transparente Schichten

 

Für jede Fragestellung das richtige Verfahren

Wir beraten Sie welches Verfahren für Ihre Fragestellung am besten geeignet ist. Jedes Verfahren hat seine Stärken und Schwächen, ist für unterschiedlichen Schichtmaterialien oder Schichtdicke geeignet, ist unterschiedlich aufwendig und liefert unterschiedliche Genauigkeit. 

Aktuelle Beispiele

 

Profilometrie

 

Hochauflösende Oberflächenabbildung mittels Rasterelektronenmikroskopie

 

Abrasiv-Verschleißprüfung von Oberflächen

 

Dicke, Dichte und Rauheit ultradünnder Schichtsysteme

 

Chemische Mikrobereichsanalyse von Oberflächen mittels Röntgenspektroskopie