Eigenspannungsarme Siliziumoxid-Schichten

Druckspannungen stellen gerade im Bereich optischer Beschichtungen ein großes Problem dar. Durch einen zu starken Druck kann beispielsweise der Grundkörper verbogen oder die Haftfestigkeit der Beschichtung reduziert werden, was letztendlich sogar zu einer kompletten Ablösung der Schicht führen kann. Am Fraunhofer IST wurde erstmalig das Heißdraht-CVD-Verfahren als alternative Herstellungsmethode für SiO2-Schichten evaluiert.

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Pixelfilter – Mikrostrukturierte Dünnschichtfilter

Vor allem im Bereich der hochauflösenden 3D-Messtechnik oder auch der hyperspektralen Bildgebung spielen mikrostrukturierte Filter eine immer größere Rolle. Am Fraunhofer IST wurde daher für die Herstellung dieser sogenannten Pixelfilter ein neues Kombinationsverfahren bestehend aus Beschichtung und Mikrostrukturierung entwickelt.

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Innovatives Spektrometer

Mit Hilfe von Dünnschichttechnologien können für Industrie und Technik notwendige Interferenzfilter hergestellt werden. Am Fraunhofer IST wurde ein Spektrometer mit geringerem Divergenzwinkel aufgebaut.

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EOSS®-Demonstrator

Das Fraunhofer IST hat mit der Entwicklung und dem Aufbau der innovativen Beschichtungsplattform EOSS® neue Möglichkeiten für die Abscheidung hochanspruchsvoller optischer Beschichtungen geschaffen.

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Optische Interferenzschichtsysteme

Am Fraunhofer IST werden daher optimierte Beschichtungsprozesse für hochwertige optische Interferenzschichtsysteme auf Polymerfolien entwickelt.

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Optik

Das Fraunhofer IST ist im Geschäftsfeld »Optik« mit einer Vielzahl von Dünnschichttechnologien zur Entwicklung neuer Lösungen für neue industrielle Anwendungen tätig. Beispiele sind:

  • Entwicklung und Herstellung von Beschichtungen für optische Komponenten
  • Anlagentechnik zur Abscheidung hochwertiger optischer Beschichtungen auf planaren und gekrümmten Optiken
  • Produktionsplattform »EOSS®« zur Herstellung optischer Filter und Laserkomponenten
  • Entwicklung neuer Materialien für intelligente Beschichtungen, z. B. elektrisch schaltbare Filter
  • Hochbeständige Breitband-Antireflexbeschichtungen auf Saphir und Glas
  • Mikrostrukturierte optische Filterschichten für Imaging-Anwendungen
  • Optische Beschichtungen auf Kunststoffoberflächen
  • Auslegung und Optimierung von Beschichtungsprozessen und -anlagen im Niederdruckbereich durch Simulation
  • Entwicklung neuartiger transparent-leitfähiger Schichten für Beleuchtungstechnik und Oxidelektronik


Im Bereich optischer Messtechnik beschäftigt sich das Fraunhofer IST u. a. mit diesen Themen:

  • In-situ-Kontrolle von Beschichtungsprozessen mit dem Monitoringsystem MOCCA
  • Mappingsystem zur Messung der Ellipsometrie, Reflexion, Transmission, Streulicht und Raman-Spektroskopie auf 60 x 60 cm2
  • Defektanalyse optischer Schichten mittels FIB-REM und konfokal optischer Mikroskopie
  • Prüfung der Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit optischer Oberflächen und Schichten

Zu den Kunden dieses Geschäftsfelds zählen Unter­nehmen der optischen Industrie, der Automobilindustrie, der Luft- und Raumfahrt, Hersteller von Displays und Datenspeichern sowie Anlagenhersteller und Lohnbeschichter.