Information

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik

Zügige Fortschritte in der Weiterentwicklung von dünnen Funktionsschichten sind das Ziel der Investition des Fraunhofer IST in die neue Hoch-Rate-Beschichtungsanlage von Impact Coatings AB, Schweden. Das Besondere: Durch drei kleine Vakuumkammern mit verhältnismäßig großen Sputter-Kathoden und eine Schleusenkammer können kurze Taktzeiten realisiert werden. Unterschiedlichste Parametervariationen und ein hoher Probendurchsatz verkürzen die Entwicklungszeit. Ein erster Erfolg sind innovative Nanokompositschichten mit hoher Dehnungsempfindlichkeit, darüber hinaus wird die IC 300 intensiv für die Weiterentwicklung von HIPIMS-Generatoren und -Prozessen genutzt.